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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 5377164 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2013年12月25日 |
特許 5245064 | 超音波振動素子及びその製造方法並びに超音波洗浄装置 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2013年 7月24日 |
特許 5204481 | 半導体製造装置、供給電力調整器、半導体デバイスの製造方法及び電力制御方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス 他 | 2013年 6月 5日 |
特許 5143180 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2013年 2月13日 |
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5377164 5245064 5204481 5143180
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