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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 5377164 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2013年12月25日 |
特許 5245064 | 超音波振動素子及びその製造方法並びに超音波洗浄装置 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2013年 7月24日 |
特許 5204481 | 半導体製造装置、供給電力調整器、半導体デバイスの製造方法及び電力制御方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス 他 | 2013年 6月 5日 |
特許 5143180 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス | 2013年 2月13日 |
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5377164 5245064 5204481 5143180
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -