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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6775533 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板保持具、および小型保持具 | 2020年10月28日 | |
特許 6683490 | 運搬治具、基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2020年 4月22日 |
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6775533 6683490
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