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シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド

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  2018年 出願公開件数ランキング    第1193位 21件 上昇2017年:第1793位 14件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第1831位 9件 上昇2017年:第2245位 7件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2018-537862 チップボンディングシステム及び方法 2018年12月20日
特開 2018-165715 自動電源投入装置および方法 2018年10月25日
特表 2018-528473 相対位置測定に基づくアライメントシステム、デュアルワークステージシステムおよび測定システム 2018年 9月27日
特開 2018-141787 平板粒度検出装置 2018年 9月13日
特開 2018-141981 フォトリソグラフィ装置およびフォトリソグラフィ装置における吊り下げフレーム表面型の補償方法 2018年 9月13日
特開 2018-142700 基板搬送装置および方法 2018年 9月13日
特表 2018-522287 露光装置 2018年 8月 9日
特表 2018-520386 露光装置および方法 2018年 7月26日
特表 2018-517308 シリコンウエハ搬送システム 2018年 6月28日
特表 2018-515795 透明基板を備えた薄膜の測定装置およびその測定方法 2018年 6月14日
特表 2018-513563 ウエハのプリアライメント装置及び方法 2018年 5月24日
特表 2018-508811 プレアライメント測定装置及び方法 2018年 3月29日
特表 2018-508038 マスク搬送装置及びマスク搬送方法 2018年 3月22日
特表 2018-508039 基板プリアライメント方法 2018年 3月22日
特表 2018-508040 調整可能な磁気浮力式重力補償装置 2018年 3月22日

21 件中 1-15 件を表示

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2018-537862 2018-165715 2018-528473 2018-141787 2018-141981 2018-142700 2018-522287 2018-520386 2018-517308 2018-515795 2018-513563 2018-508811 2018-508038 2018-508039 2018-508040

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