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シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1793位 14件 上昇2016年:第5242位 3件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第2245位 7件 上昇2016年:第9250位 1件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-537319 振幅モニタシステム、フォーカシング・レベリング装置、及び、デフォーカス量検知方法 2017年12月14日
特表 2017-534918 露光装置の調整装置及び調整方法 2017年11月24日
特表 2017-530410 露光装置、並びに焦点外れ及び傾斜誤差の補正方法 2017年10月12日
特表 2017-530512 レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム及びパッケージング方法 2017年10月12日
特表 2017-530559 ガントリ装置、及び、制御方法 2017年10月12日
特表 2017-528766 焦点合わせと傾斜補正のデザインを有するマーク及びそのアラインメント方法 2017年 9月28日
特表 2017-524538 レーザーパッケージングシステム及び方法 2017年 8月31日
特表 2017-510975 レーザアニールのためのビームホモジナイザ 2017年 4月13日
特表 2017-508184 リソグラフィマシンワークピーステーブル、及びその垂直位置初期化方法 2017年 3月23日
特表 2017-504202 衝突防止機能付きシリコンウエハエッジ保護装置 2017年 2月 2日
特表 2017-503205 合焦レベリング装置 2017年 1月26日
特表 2017-503207 レチクル形状修正装置及びこれを用いたフォトリソグラフィー・ツール 2017年 1月26日
特表 2017-503349 シリコンウエハのプリアライメント装置及びその方法 2017年 1月26日
特表 2017-502646 磁石アレイ及び磁気浮上平面モータ 2017年 1月19日

14 件中 1-14 件を表示

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2017-537319 2017-534918 2017-530410 2017-530512 2017-530559 2017-528766 2017-524538 2017-510975 2017-508184 2017-504202 2017-503205 2017-503207 2017-503349 2017-502646

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