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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第1793位 14件 (2016年:第5242位 3件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第2245位 7件 (2016年:第9250位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2017-537319 | 振幅モニタシステム、フォーカシング・レベリング装置、及び、デフォーカス量検知方法 | 2017年12月14日 | |
特表 2017-534918 | 露光装置の調整装置及び調整方法 | 2017年11月24日 | |
特表 2017-530410 | 露光装置、並びに焦点外れ及び傾斜誤差の補正方法 | 2017年10月12日 | |
特表 2017-530512 | レーザー封止ガラスパッケージのパッケージングシステム及びパッケージング方法 | 2017年10月12日 | |
特表 2017-530559 | ガントリ装置、及び、制御方法 | 2017年10月12日 | |
特表 2017-528766 | 焦点合わせと傾斜補正のデザインを有するマーク及びそのアラインメント方法 | 2017年 9月28日 | |
特表 2017-524538 | レーザーパッケージングシステム及び方法 | 2017年 8月31日 | |
特表 2017-510975 | レーザアニールのためのビームホモジナイザ | 2017年 4月13日 | |
特表 2017-508184 | リソグラフィマシンワークピーステーブル、及びその垂直位置初期化方法 | 2017年 3月23日 | |
特表 2017-504202 | 衝突防止機能付きシリコンウエハエッジ保護装置 | 2017年 2月 2日 | |
特表 2017-503205 | 合焦レベリング装置 | 2017年 1月26日 | |
特表 2017-503207 | レチクル形状修正装置及びこれを用いたフォトリソグラフィー・ツール | 2017年 1月26日 | |
特表 2017-503349 | シリコンウエハのプリアライメント装置及びその方法 | 2017年 1月26日 | |
特表 2017-502646 | 磁石アレイ及び磁気浮上平面モータ | 2017年 1月19日 |
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2017-537319 2017-534918 2017-530410 2017-530512 2017-530559 2017-528766 2017-524538 2017-510975 2017-508184 2017-504202 2017-503205 2017-503207 2017-503349 2017-502646
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2月4日(火) - 神奈川 川崎市
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2月5日(水) - 東京 港区
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2月7日(金) - 東京 港区
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