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シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第957位 28件 下降2019年:第664位 47件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第716位 30件 上昇2019年:第985位 20件)

(ランキング更新日:2025年1月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-536738 検流計補正システム及び方法 2020年12月17日
特表 2020-535482 投影対物レンズ 2020年12月 3日
特表 2020-531768 線形モジュールとその動作方法 2020年11月 5日
特表 2020-532119 レチクルの搬送システム及び搬送方法 2020年11月 5日
特表 2020-530138 露光装置および露光方法 2020年10月15日
特表 2020-530208 半導体製造装置 2020年10月15日
特表 2020-529634 レチクルを移送するためのフォーク、それに対応するケース及びレチクルの搬送方法 2020年10月 8日
特表 2020-527219 熱交換装置及びその熱交換方法並びに蒸着装置 2020年 9月 3日
特表 2020-526800 対物レンズ保護装置、対物レンズシステムおよびリソグラフィ装置 2020年 8月31日
特表 2020-526937 走査アライメント装置およびその走査方法 2020年 8月31日
特表 2020-525746 液体温度制御装置及び方法 2020年 8月27日
特表 2020-525845 光路補正装置 2020年 8月27日
特表 2020-525860 フォトリソグラフィ装置用シャッター羽根装置 2020年 8月27日
特表 2020-526023 真空引き装置及び真空引き方法 2020年 8月27日
特表 2020-524912 ウェハ搬送ボックス及びウェハ自動搬送システム 2020年 8月20日

28 件中 1-15 件を表示

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2020-536738 2020-535482 2020-531768 2020-532119 2020-530138 2020-530208 2020-529634 2020-527219 2020-526800 2020-526937 2020-525746 2020-525845 2020-525860 2020-526023 2020-524912

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