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シャンハイ　マイクロ　エレクトロニクス　イクイプメント　カンパニー　リミティド

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　■　2020年特許取得件数ランキング　　　第716位　30件（2019年：第985位　20件）

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シャンハイ　マイクロ　エレクトロニクス　イクイプメント　カンパニー　リミティドの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2020-536738	検流計補正システム及び方法	2020年12月17日
特表 2020-535482	投影対物レンズ	2020年12月 3日
特表 2020-531768	線形モジュールとその動作方法	2020年11月 5日
特表 2020-532119	レチクルの搬送システム及び搬送方法	2020年11月 5日
特表 2020-530138	露光装置および露光方法	2020年10月15日
特表 2020-530208	半導体製造装置	2020年10月15日
特表 2020-529634	レチクルを移送するためのフォーク、それに対応するケース及びレチクルの搬送方法	2020年10月 8日
特表 2020-527219	熱交換装置及びその熱交換方法並びに蒸着装置	2020年 9月 3日
特表 2020-526800	対物レンズ保護装置、対物レンズシステムおよびリソグラフィ装置	2020年 8月31日
特表 2020-526937	走査アライメント装置およびその走査方法	2020年 8月31日
特表 2020-525746	液体温度制御装置及び方法	2020年 8月27日
特表 2020-525845	光路補正装置	2020年 8月27日
特表 2020-525860	フォトリソグラフィ装置用シャッター羽根装置	2020年 8月27日
特表 2020-526023	真空引き装置及び真空引き方法	2020年 8月27日
特表 2020-524912	ウェハ搬送ボックス及びウェハ自動搬送システム	2020年 8月20日

28 件中 1-15 件を表示

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2020-536738 2020-535482 2020-531768 2020-532119 2020-530138 2020-530208 2020-529634 2020-527219 2020-526800 2020-526937 2020-525746 2020-525845 2020-525860 2020-526023 2020-524912

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