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ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第2114位 10件 下降2019年:第1102位 25件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第951位 21件 下降2019年:第787位 27件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-533733 イオン注入のための装置、システムおよび方法 2020年11月19日
特表 2020-531890 イオン注入によるEUVフォトレジストの性能向上 2020年11月 5日
特開 2020-161485 スキャン後の湾曲電極のイオン注入システムの装置 2020年10月 1日
特開 2020-129567 ビーム電流動作の広い範囲におけるイオンビームの制御 2020年 8月27日
特開 2020-115559 熱絶縁電気接点プローブ及び加熱プラテンアセンブリ 2020年 7月30日
特開 2020-102454 イオンビームを制御する装置 2020年 7月 2日
特表 2020-511590 ドーパント種をワークピース上に堆積する堆積方法、ドーパント種をワークピース内に注入する注入方法及びワークピースを処理するワークピース処理方法 2020年 4月16日
特開 2020-40874 融液上に成長した結晶シートの厚さを制御する装置および方法 2020年 3月19日
特表 2020-506510 抑制電極の熱変形を制御するための装置及びイオンビームの均一性を制御するための装置 2020年 2月27日
特表 2020-502742 イオンビーム装置のためのガス圧入システム 2020年 1月23日

10 件中 1-10 件を表示

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2020-533733 2020-531890 2020-161485 2020-129567 2020-115559 2020-102454 2020-511590 2020-40874 2020-506510 2020-502742

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