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ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド

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  2017年 出願公開件数ランキング    第1299位 22件 下降2016年:第944位 30件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1441位 13件 上昇2016年:第2650位 6件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-535067 アクティブ基板位置合わせシステム及び方法 2017年11月24日
特表 2017-534145 ワークピース処理方法および装置 2017年11月16日
特表 2017-534168 基板をパターニングするシステム及び方法 2017年11月16日
特表 2017-533165 融液上に成長した結晶シートの厚さを制御する装置および方法 2017年11月 9日
特表 2017-533542 隠れ偏向電極を用いるイオンビームのイオン角度分布の制御 2017年11月 9日
特表 2017-532280 高温度での材料厚の測定システム及び方法 2017年11月 2日
特表 2017-527080 タンデム加速器及びイオン注入システム 2017年 9月14日
特開 2017-163832 固体故障電流リミッタ 2017年 9月14日
特表 2017-523566 イオン源の動的温度制御装置 2017年 8月17日
特表 2017-520909 基板をエッチングする方法、デバイス構造をエッチングする方法及び処理装置 2017年 7月27日
特表 2017-516979 赤外線を用いた半導体ワークピースの温度測定および較正技術 2017年 6月22日
特表 2017-515778 融液処理装置 2017年 6月15日
特表 2017-512739 シリコン融液内の熱流を制御する装置 2017年 5月25日
特表 2017-510932 処理装置内のイオン角度分布のその場制御 2017年 4月13日
特表 2017-509578 冷却ブロック及びガス噴射を使用した結晶シート成長のためのシステム及び方法 2017年 4月 6日

22 件中 1-15 件を表示

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2017-535067 2017-534145 2017-534168 2017-533165 2017-533542 2017-532280 2017-527080 2017-163832 2017-523566 2017-520909 2017-516979 2017-515778 2017-512739 2017-510932 2017-509578

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