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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第2114位 10件
(2019年:第1102位 25件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第951位 21件
(2019年:第787位 27件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6797132 | 流体導管が埋め込まれた半導体製造装置及び導管の形成方法 | 2020年12月 9日 | |
特許 6783235 | 加工物を保持及び加熱する装置、加工物を加熱する方法及びリングヒータアセンブリ | 2020年11月11日 | |
特許 6783241 | 基板から金属を除去する方法及びワークピース処理システム | 2020年11月11日 | |
特許 6783248 | 基板ハンドリング及び加熱システム | 2020年11月11日 | |
特許 6772191 | イオン注入システム及びその場(in situ)プラズマクリーニング方法 | 2020年10月21日 | |
特許 6773795 | カプセル化ナノ構造及び作製方法 | 2020年10月21日 | |
特許 6768147 | ワークピース処理装置 | 2020年10月14日 | |
特許 6769952 | プラズマ処理装置及びシステム及びイオンビームを制御する方法 | 2020年10月14日 | |
特許 6770062 | イオンビームを操作するための方法及び装置並びにイオン注入機 | 2020年10月14日 | |
特許 6746684 | ガス注入システム及び残留除去ガスを基板に当てるための方法 | 2020年 8月26日 | |
特許 6737811 | 超伝導故障電流限流器システムおよび超伝導テープを接続するための接続システム | 2020年 8月12日 | |
特許 6725518 | パターニングフィーチャーを加工するための多重露光処理 | 2020年 7月22日 | |
特許 6697460 | 加工物の温度を制御するシステム及び方法 | 2020年 5月20日 | |
特許 6685577 | 熱絶縁電気接点プローブ及び加熱プラテンアセンブリ | 2020年 4月22日 | |
特許 6681483 | イオン源のための気化器 | 2020年 4月15日 |
22 件中 1-15 件を表示
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6797132 6783235 6783241 6783248 6772191 6773795 6768147 6769952 6770062 6746684 6737811 6725518 6697460 6685577 6681483
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