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ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第2114位 10件 下降2019年:第1102位 25件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第951位 21件 下降2019年:第787位 27件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6797132 流体導管が埋め込まれた半導体製造装置及び導管の形成方法 2020年12月 9日
特許 6783235 加工物を保持及び加熱する装置、加工物を加熱する方法及びリングヒータアセンブリ 2020年11月11日
特許 6783241 基板から金属を除去する方法及びワークピース処理システム 2020年11月11日
特許 6783248 基板ハンドリング及び加熱システム 2020年11月11日
特許 6772191 イオン注入システム及びその場(in situ)プラズマクリーニング方法 2020年10月21日
特許 6773795 カプセル化ナノ構造及び作製方法 2020年10月21日
特許 6768147 ワークピース処理装置 2020年10月14日
特許 6769952 プラズマ処理装置及びシステム及びイオンビームを制御する方法 2020年10月14日
特許 6770062 イオンビームを操作するための方法及び装置並びにイオン注入機 2020年10月14日
特許 6746684 ガス注入システム及び残留除去ガスを基板に当てるための方法 2020年 8月26日
特許 6737811 超伝導故障電流限流器システムおよび超伝導テープを接続するための接続システム 2020年 8月12日
特許 6725518 パターニングフィーチャーを加工するための多重露光処理 2020年 7月22日
特許 6697460 加工物の温度を制御するシステム及び方法 2020年 5月20日
特許 6685577 熱絶縁電気接点プローブ及び加熱プラテンアセンブリ 2020年 4月22日
特許 6681483 イオン源のための気化器 2020年 4月15日

22 件中 1-15 件を表示

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6797132 6783235 6783241 6783248 6772191 6773795 6768147 6769952 6770062 6746684 6737811 6725518 6697460 6685577 6681483

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