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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5587325 | 化学蒸着堆積のための方法および装置 | 2014年 9月10日 | |
特許 5567582 | 高温ガス注入を伴う化学気相成長方法及び反応器 | 2014年 8月 6日 | |
特許 5560355 | 一様でない熱抵抗を有するウエハキャリア | 2014年 7月23日 | |
特許 5519742 | バッチ式で非接触な材料特性評価のための装置および方法 | 2014年 6月11日 | |
特許 5519105 | 化学気相成長の方法及び化学気相成長リアクタ用のガス供給システム | 2014年 6月11日 |
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5587325 5567582 5560355 5519742 5519105
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