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ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド

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  2014年 出願公開件数ランキング    第5218位 3件 下降2013年:第3287位 6件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第3438位 5件 上昇2013年:第6233位 2件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5587325 化学蒸着堆積のための方法および装置 2014年 9月10日
特許 5567582 高温ガス注入を伴う化学気相成長方法及び反応器 2014年 8月 6日
特許 5560355 一様でない熱抵抗を有するウエハキャリア 2014年 7月23日
特許 5519742 バッチ式で非接触な材料特性評価のための装置および方法 2014年 6月11日
特許 5519105 化学気相成長の方法及び化学気相成長リアクタ用のガス供給システム 2014年 6月11日

5 件中 1-5 件を表示

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5587325 5567582 5560355 5519742 5519105

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