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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第3287位 6件
(
2012年:第3467位 5件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第6233位 2件
(
2012年:第6156位 2件)
(ランキング更新日:2026年3月19日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5200171 | ウエハキャリア、化学蒸着装置、および、ウエハを処理する方法 | 2013年 5月15日 | |
| 特許 5156240 | ウエハキャリアの温度補償によってウエハの表面温度を変化させるシステム及び方法 | 2013年 3月 6日 |
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5200171 5156240
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