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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6400074 | 金属又は酸化物コーティングを有する再使用可能なポリマーテンプレートによるナノインプリンティング | 2018年10月 3日 | |
特許 6395352 | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | 2018年 9月26日 | |
特許 6324318 | インプリントリソグラフィー用のシームレスな大面積マスターテンプレートの製造方法 | 2018年 5月16日 | |
特許 6306501 | テンプレートおよびテンプレートを基板と位置合わせするための方法 | 2018年 4月 4日 | |
特許 6300459 | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 | 2018年 3月28日 |
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6400074 6395352 6324318 6306501 6300459
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