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■ 2014年 出願公開件数ランキング 件
(
2013年: 件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 件
(
2013年: 件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5638529 | 流体分注装置の較正 | 2014年12月10日 | |
| 特許 5628815 | エッジ加重による液滴パターン生成 | 2014年11月19日 | |
| 特許 5613658 | 大面積ロールツーロール・インプリント・リソグラフィ | 2014年10月29日 | 共同出願 |
| 特許 5563544 | 表面にリセスを形成する方法 | 2014年 7月30日 | |
| 特許 5543502 | 固化したインプリンティング材料からモールドを分離する方法 | 2014年 7月 9日 | |
| 特許 5502095 | 高歩留まりナノインプリント・リソグラフィ・テンプレートの製造 | 2014年 5月28日 | |
| 特許 5439374 | エッチングされた多層スタックにおける残留形成の低減 | 2014年 3月12日 | |
| 特許 5433584 | 接触線運動トラッキング制御に基づく高スループット・インプリント | 2014年 3月 5日 | |
| 特許 5426814 | インプリントリソグラフィ用の材料 | 2014年 2月26日 | 共同出願 |
| 特許 5421221 | インプリント・リソグラフィの散乱計測アラインメント | 2014年 2月19日 | |
| 特許 5421378 | インプリント・リソグラフィ・ツールのその場クリーニング | 2014年 2月19日 | |
| 特許 5404654 | テンプレート形成時の限界寸法制御 | 2014年 2月 5日 | |
| 特許 5406204 | 極薄ポリマー接着層 | 2014年 2月 5日 | |
| 特許 5404803 | 基板とパターン形成層との間の接着性の促進 | 2014年 2月 5日 | |
| 特許 5399374 | 接着プライマー層を利用するインプリント・リソグラフィーのための方法 | 2014年 1月29日 |
15 件中 1-15 件を表示
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5638529 5628815 5613658 5563544 5543502 5502095 5439374 5433584 5426814 5421221 5421378 5404654 5406204 5404803 5399374
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