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モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド

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モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特許 5335156	基板保持装置	2013年11月 6日
特許 5306989	複数のフィールド及びアライメント・マークを有する基板を同時にパターニングする方法	2013年10月 2日
特許 5289577	インプリント・リソグラフィ装置用の真空チャックを備えた装置	2013年 9月11日
特許 5275399	インプリント層に閉じ込められるガスを減少させるための方法	2013年 8月28日	共同出願
特許 5258973	インプリント・リソグラフィ工程における剥離	2013年 8月 7日
特許 5247153	基板上に配置された固化層からモールドを分離させる方法	2013年 7月24日
特許 5236484	固化したインプリンティング材料からモールドを分離する方法	2013年 7月17日
特許 5216871	インプリント・リソグラフィにおけるはみ出し低減	2013年 6月19日
特許 5198071	インプリントリソグラフィ・プロセスにおける熱管理のための露光方法	2013年 5月15日
特許 5198070	ナノスケールのデバイスを製造するための干渉分析	2013年 5月15日
特許 5198282	基板とモールドとの間に位置するガスを排出するための方法	2013年 5月15日
特許 5184508	インプリント・リソグラフィ・システム	2013年 4月17日
特許 5180381	基板からテンプレートを分離する際の応力の低減	2013年 4月10日
特許 5159957	ステージ制御用光学システム	2013年 3月13日
特許 5139421	厚さが変化するテンプレート	2013年 2月 6日

15 件中 1-15 件を表示

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5335156 5306989 5289577 5275399 5258973 5247153 5236484 5216871 5198071 5198070 5198282 5184508 5180381 5159957 5139421

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