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ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

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  2020年 出願公開件数ランキング    第2749位 7件 上昇2019年:第3655位 5件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1945位 8件 上昇2019年:第23568位 0件)

(ランキング更新日:2024年9月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6785062 整列したウェーハ・ペアを取り扱うための装置およびシステム 2020年11月18日
特許 6739216 基板に塗布されたフォトレジストの少なくとも一部分を硬化するための方法および装置 2020年 8月12日
特許 6723765 ウエハ処理装置およびウエハ処理装置用のシーリングリング 2020年 7月15日
特許 6718216 基板を被覆する方法および被覆装置 2020年 7月 8日
特許 6715658 基材にコーティングを施すための装置及び方法 2020年 7月 1日
特許 6700925 基材のコーティング方法 2020年 5月27日
特許 6689668 整列したウェーハ・ペアを取り扱うための方法 2020年 4月28日
特許 6670246 エッジ領域で支持された基板の変形を防止する方法及び装置 2020年 3月18日

8 件中 1-8 件を表示

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6785062 6739216 6723765 6718216 6715658 6700925 6689668 6670246

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