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インプリア・コーポレイション

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7760573 有機金属溶液に基づいた高解像度パターニング組成物 2025年10月27日
特許 7715703 有機金属の金属カルコゲナイドクラスター及びリソグラフィへの応用 2025年 7月30日
特許 7700151 中間凍結工程による有機金属光パターニング可能層を用いたマルチパターニング 2025年 6月30日
特許 7689218 パターン形成された無機層、放射線によるパターン形成組成物、およびそれに対応する方法 2025年 6月 5日
特許 7649752 有機金属フォトレジスト現像剤組成物及び処理方法 2025年 3月21日
特許 7638944 スズ十二量体、及び強いEUV吸収を有する放射線パターニング可能なコーティング 2025年 3月 4日
特許 7608526 ポリアルキル汚染が少ないモノアルキルスズ化合物、それらの組成物及び方法 2025年 1月 6日

7 件中 1-7 件を表示

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7760573 7715703 7700151 7689218 7649752 7638944 7608526

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