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(2020年:第1158位 22件)
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(2020年:第1162位 16件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6978865 | 流体制御装置、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム | 2021年12月 8日 | |
特許 6959921 | ガス制御システム及び該ガス制御システムを備えた成膜装置 | 2021年11月 5日 | |
特許 6943868 | 流体センサ、当該流体センサを備えた流体制御装置、及び、調整方法 | 2021年10月 6日 | |
特許 6920331 | 流体制御弁、流体制御装置、及び駆動機構 | 2021年 8月18日 | |
特許 6918555 | クロマトグラフ用サンプラ及びクロマトグラフ用サンプラの操作方法 | 2021年 8月11日 | |
特許 6913009 | 金属シール、流体制御装置及びシール方法 | 2021年 8月 4日 | |
特許 6914063 | ガス制御システム、該ガス制御システムを備えた成膜装置、該ガス制御システムに用いるプログラム及びガス制御方法。 | 2021年 8月 4日 | |
特許 6910181 | 弁要素、流体制御弁及び半導体製造装置 | 2021年 7月28日 | |
特許 6895289 | 圧力センサ | 2021年 6月30日 | |
特許 6884004 | 気化器及びこれを備える薄膜蒸着装置 | 2021年 6月 9日 | |
特許 6879782 | 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム | 2021年 6月 2日 | |
特許 6879850 | 流体測定装置、流体制御システム及び制御プログラム | 2021年 6月 2日 | |
特許 6878081 | 水素精製デバイス及び水素精製デバイスを使用した水素精製システム | 2021年 5月26日 | |
特許 6871721 | 圧力式流量計 | 2021年 5月12日 | |
特許 6815847 | 流路形成構造、流量測定装置及び流量制御装置 | 2021年 1月20日 |
16 件中 1-15 件を表示
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6978865 6959921 6943868 6920331 6918555 6913009 6914063 6910181 6895289 6884004 6879782 6879850 6878081 6871721 6815847
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