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株式会社堀場エステック

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  2022年 特許取得件数ランキング    第1019位 22件 上昇2021年:第1299位 14件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7193088 差圧式流量計 2022年12月20日
特許 7184794 気化装置及び気化装置用分離器 2022年12月 6日
特許 7164938 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム 2022年11月 2日
特許 7154850 濃度制御装置及び材料ガス供給装置 2022年10月18日
特許 7154018 流体制御弁及び流体制御装置 2022年10月17日
特許 7148302 流量制御装置 2022年10月 5日
特許 7148497 気化装置及び気化システム 2022年10月 5日
特許 7137921 気化システム及び気化システム用プログラム 2022年 9月15日
特許 7133945 流体制御弁及び流体制御装置 2022年 9月 9日
特許 7129969 気化装置及び気化システム 2022年 9月 2日
特許 7128733 吸光分析装置 2022年 8月31日
特許 7107648 流体制御装置、流体制御システム、流体制御方法、及び、流体制御装置用プログラム 2022年 7月27日
特許 7105765 液体材料気化供給装置及び制御プログラム 2022年 7月25日
特許 7088732 基板処理装置及び基板処理装置用プログラム 2022年 6月21日
特許 7085997 流量比率制御装置、流量比率制御装置用プログラム、及び、流量比率制御方法 2022年 6月17日

26 件中 1-15 件を表示

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7193088 7184794 7164938 7154850 7154018 7148302 7148497 7137921 7133945 7129969 7128733 7107648 7105765 7088732 7085997

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