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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第1164位 23件 (2013年:第1403位 20件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第2004位 11件 (2013年:第1680位 14件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5629212 | 流量センサ | 2014年11月19日 | |
特許 5615162 | 材料ガス濃度制御システム | 2014年10月29日 | |
特許 5607501 | マスフローコントローラ | 2014年10月15日 | |
特許 5606087 | 流量制御弁 | 2014年10月15日 | |
特許 5579783 | 集積型ガスパネル装置 | 2014年 8月27日 | |
特許 5565962 | ガス供給装置 | 2014年 8月 6日 | |
特許 5548292 | 加熱気化システムおよび加熱気化方法 | 2014年 7月16日 | |
特許 5506655 | 材料ガス制御装置、材料ガス制御方法、材料ガス制御プログラム及び材料ガス制御システム | 2014年 5月28日 | |
特許 5475817 | 液体材料気化装置 | 2014年 4月16日 | |
特許 5437779 | 流体装置 | 2014年 3月12日 | |
特許 5422485 | ガス分析計 | 2014年 2月19日 |
11 件中 1-11 件を表示
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5629212 5615162 5607501 5606087 5579783 5565962 5548292 5506655 5475817 5437779 5422485
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