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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1130位 22件
(2021年:第1165位 22件)
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(2021年:第1299位 14件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7067910 | 流体装置及び流体装置用プログラム | 2022年 5月16日 | |
特許 7068062 | 流体制御装置、及び、流量比率制御装置 | 2022年 5月16日 | |
特許 7059053 | 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム | 2022年 4月25日 | |
特許 7054297 | 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム | 2022年 4月13日 | |
特許 7051211 | 流体制御装置、制御プログラム及び流体制御システム | 2022年 4月11日 | |
特許 7045328 | 収容タンク、その収容タンクを備えた材料気化装置及び液体材料供給装置 | 2022年 3月31日 | |
特許 7044629 | 流体制御装置、及び、流量比率制御装置 | 2022年 3月30日 | |
特許 7039439 | ガス分析装置及びガス分析方法 | 2022年 3月22日 | |
特許 7027151 | 濃度制御装置、ガス制御システム、成膜装置、濃度制御方法、及び濃度制御装置用プログラム | 2022年 3月 1日 | |
特許 7021092 | 元素分析装置及び元素分析方法 | 2022年 2月16日 | |
特許 7008499 | 校正データ作成装置及び校正データ作成方法、並びに、流量制御装置 | 2022年 1月25日 |
26 件中 16-26 件を表示
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7067910 7068062 7059053 7054297 7051211 7045328 7044629 7039439 7027151 7021092 7008499
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