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株式会社堀場エステック

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  2022年 特許取得件数ランキング    第1019位 22件 上昇2021年:第1299位 14件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7067910 流体装置及び流体装置用プログラム 2022年 5月16日
特許 7068062 流体制御装置、及び、流量比率制御装置 2022年 5月16日
特許 7059053 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム 2022年 4月25日
特許 7054297 流体制御装置及び流体制御装置用プログラム 2022年 4月13日
特許 7051211 流体制御装置、制御プログラム及び流体制御システム 2022年 4月11日
特許 7045328 収容タンク、その収容タンクを備えた材料気化装置及び液体材料供給装置 2022年 3月31日
特許 7044629 流体制御装置、及び、流量比率制御装置 2022年 3月30日
特許 7039439 ガス分析装置及びガス分析方法 2022年 3月22日
特許 7027151 濃度制御装置、ガス制御システム、成膜装置、濃度制御方法、及び濃度制御装置用プログラム 2022年 3月 1日
特許 7021092 元素分析装置及び元素分析方法 2022年 2月16日
特許 7008499 校正データ作成装置及び校正データ作成方法、並びに、流量制御装置 2022年 1月25日

26 件中 16-26 件を表示

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7067910 7068062 7059053 7054297 7051211 7045328 7044629 7039439 7027151 7021092 7008499

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