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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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  2015年 出願公開件数ランキング    第3076位 6件 上昇2014年:第4165位 4件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第2211位 7件 上昇2014年:第4015位 4件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5838067 塗布方法および塗布装置 2015年12月24日
特許 5820218 光照射装置、基板処理装置および光照射装置の制御方法 2015年11月24日
特許 5758509 基板処理方法および基板処理装置 2015年 8月 5日
特許 5686647 基板保持装置、基板洗浄装置および基板処理装置 2015年 3月18日
特許 5680731 基板処理装置および検査周辺露光システム 2015年 3月 4日
特許 5666361 基板処理装置 2015年 2月12日
特許 5668120 現像装置 2015年 2月12日
特許 5658083 温度変更システム 2015年 1月21日

8 件中 1-8 件を表示

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5838067 5820218 5758509 5686647 5680731 5666361 5668120 5658083

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