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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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  2016年 出願公開件数ランキング    第5242位 3件 下降2015年:第3076位 6件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第959位 23件 上昇2015年:第2211位 7件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6047408 基板処理装置および基板処理方法 2016年12月21日
特許 6049367 基板処理装置および基板処理システム 2016年12月21日
特許 6049929 基板処理方法 2016年12月21日
特許 6050091 基板処理装置 2016年12月21日
特許 6034144 処理液供給装置およびこれを備えた基板処理装置 2016年11月30日
特許 6029939 処理液供給装置およびこれを備えた基板処理装置 2016年11月24日
特許 6001896 基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置 2016年10月 5日
特許 6001961 基板処理装置および基板処理方法 2016年10月 5日
特許 5964654 基板処理方法 2016年 8月 3日
特許 5944132 塗布方法および塗布装置 2016年 7月 5日
特許 5936853 基板処理装置および基板処理方法 2016年 6月22日
特許 5925869 基板処理装置 2016年 5月25日
特許 5922901 処理液供給装置、基板処理装置、気泡の除去方法および基板処理方法 2016年 5月24日
特許 5913937 カップおよび基板処理装置 2016年 5月11日
特許 5904810 基板熱処理装置および基板熱処理方法 2016年 4月20日

23 件中 1-15 件を表示

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6047408 6049367 6049929 6050091 6034144 6029939 6001896 6001961 5964654 5944132 5936853 5925869 5922901 5913937 5904810

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