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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第5242位 3件
(
2015年:第3076位 6件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第959位 23件
(
2015年:第2211位 7件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6047408 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年12月21日 | |
| 特許 6049367 | 基板処理装置および基板処理システム | 2016年12月21日 | |
| 特許 6049929 | 基板処理方法 | 2016年12月21日 | |
| 特許 6050091 | 基板処理装置 | 2016年12月21日 | |
| 特許 6034144 | 処理液供給装置およびこれを備えた基板処理装置 | 2016年11月30日 | |
| 特許 6029939 | 処理液供給装置およびこれを備えた基板処理装置 | 2016年11月24日 | |
| 特許 6001896 | 基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置 | 2016年10月 5日 | |
| 特許 6001961 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年10月 5日 | |
| 特許 5964654 | 基板処理方法 | 2016年 8月 3日 | |
| 特許 5944132 | 塗布方法および塗布装置 | 2016年 7月 5日 | |
| 特許 5936853 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2016年 6月22日 | |
| 特許 5925869 | 基板処理装置 | 2016年 5月25日 | |
| 特許 5922901 | 処理液供給装置、基板処理装置、気泡の除去方法および基板処理方法 | 2016年 5月24日 | |
| 特許 5913937 | カップおよび基板処理装置 | 2016年 5月11日 | |
| 特許 5904810 | 基板熱処理装置および基板熱処理方法 | 2016年 4月20日 |
23 件中 1-15 件を表示
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6047408 6049367 6049929 6050091 6034144 6029939 6001896 6001961 5964654 5944132 5936853 5925869 5922901 5913937 5904810
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