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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第4165位 4件
(2013年: 0件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第4015位 4件
(2013年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5629675 | 基板処理装置 | 2014年11月26日 | |
特許 5620530 | 基板処理ユニットおよび基板処理装置 | 2014年11月 5日 | |
特許 5612265 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2014年10月22日 | |
特許 5608148 | 基板処理装置 | 2014年10月15日 |
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5629675 5620530 5612265 5608148
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4月4日(金) -
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