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株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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  2017年 出願公開件数ランキング    第5643位 3件 下降2016年:第5242位 3件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第1034位 20件 下降2016年:第959位 23件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6243784 基板処理装置 2017年12月 6日
特許 6239813 基板処理装置および基板処理方法 2017年11月29日
特許 6214861 基板処理装置と基板処理装置の電源管理方法 2017年10月18日
特許 6208804 基板処理装置 2017年10月 4日
特許 6209554 基板処理方法 2017年10月 4日
特許 6195601 基板処理方法および基板処理装置 2017年 9月13日
特許 6184102 位置合わせ装置および基板処理装置 2017年 8月23日
特許 6118044 基板処理装置および基板処理方法 2017年 4月19日
特許 6118180 試験予定作成方法、試験方法、試験予定作成装置および基板処理装置 2017年 4月19日
特許 6111104 基板洗浄乾燥方法および基板現像方法 2017年 4月 5日
特許 6104718 基板処理装置、温度測定用基板の搬送方法および試験方法 2017年 3月29日
特許 6099449 基板処理装置 2017年 3月22日
特許 6099486 分析方法、分析装置および基板処理装置 2017年 3月22日
特許 6096132 基板乾燥装置、基板処理装置および基板乾燥方法 2017年 3月15日
特許 6097569 基板処理装置および基板処理列制御方法 2017年 3月15日

21 件中 1-15 件を表示

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6243784 6239813 6214861 6208804 6209554 6195601 6184102 6118044 6118180 6111104 6104718 6099449 6099486 6096132 6097569

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