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アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第11806位 1件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第2016位 8件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5805831 切り換え型マルチパースペクティブ検出器、切り換え型マルチパースペクティブ検出器用光学系、及び切り換え型マルチパースペクティブ検出器の動作方法 2015年11月10日
特許 5791028 試料を検査する荷電粒子ビーム装置のコントラストを向上させる装置及び方法 2015年10月 7日
特許 5791060 電子ビームウェーハ検査システム及びその作動方法 2015年10月 7日
特許 5779614 可動コンデンサーレンズを備えた高輝度電子銃 2015年 9月16日
特許 5738378 オクタポール装置及びスポットサイズ向上方法 2015年 6月24日
特許 5734809 単純化粒子エミッタ及びその動作方法 2015年 6月17日
特許 5685503 多軸レンズ、複合レンズを利用したビームシステム、及び複合レンズの製造方法 2015年 3月18日
特許 5666227 色収差補正ビーム偏向器、色収差補正ビーム分離器、荷電粒子デバイス、色収差補正ビーム偏向器を動作させる方法、及び色収差補正ビーム分離器を動作させる方法 2015年 2月12日

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5805831 5791028 5791060 5779614 5738378 5734809 5685503 5666227

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