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ディーエヌエフ カンパニー リミテッド

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  2018年 出願公開件数ランキング    第5373位 3件 上昇2017年:第5643位 3件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第3972位 3件 上昇2017年:第8798位 1件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-182077 低誘電膜の形成方法及びこれを利用する半導体素子の製造方法 2018年11月15日
特表 2018-528610 プラズマ原子層蒸着法を用いたシリコン窒化薄膜の製造方法 2018年 9月27日
特開 2018-90586 スズ化合物、その合成方法、ALD用スズ前駆体化合物、及びスズ含有物質膜の形成方法 2018年 6月14日
特開 2018-48113 アルミニウム化合物、及びそれを利用した薄膜形成方法、並びに集積回路素子の製造方法 2018年 3月29日
特開 2018-35180 新規なトリシリルアミン誘導体およびその製造方法、並びにそれを用いたシリコン含有薄膜 2018年 3月 8日
特開 2018-27962 新規なシクロジシラザン誘導体およびその製造方法、並びにそれを用いたシリコン含有薄膜 2018年 2月22日

6 件中 1-6 件を表示

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2018-182077 2018-528610 2018-90586 2018-48113 2018-35180 2018-27962

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