出願人名に「ファム」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5352216 | ウェハ周辺部研磨装置 | スピードファム株式会社 | 2013年11月27日 |
| 特許 5317119 | 真空吸着ヘッド | スピードファム株式会社 | 2013年10月16日 |
| 特許 5259325 | 半導体ウエハの厚さ形状もしくは表面形状を修正するための多段局所ドライエッチング方法 | スピードファム株式会社 | 2013年 8月 7日 |
| 特許 5230328 | ウエハノッチ部の研磨パッド | スピードファム株式会社 | 2013年 7月10日 |
| 特許 5171409 | 基板対基板電気コネクタ | チャンスー ファムフル エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 2013年 3月27日 |
| 特許 5166128 | 電気コネクタ | チャンスー ファムフル エレクトロニクス カンパニー リミテッド | 2013年 3月21日 |
| 特許 5114113 | ワークキャリア | スピードファム株式会社 | 2013年 1月 9日 |
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5352216 5317119 5259325 5230328 5171409 5166128 5114113
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