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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1169位 25件
(
2012年:第795位 38件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第2264位 9件
(
2012年:第991位 29件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2013-231962 | 露光装置及び露光方法 | 2013年11月14日 | |
| 特開 2013-229536 | 露光装置及び露光方法 | 2013年11月 7日 | |
| 特開 2013-205836 | 露光装置 | 2013年10月 7日 | |
| 特開 2013-205613 | 近接露光装置 | 2013年10月 7日 | |
| 特開 2013-179223 | 分割逐次近接露光装置及び分割逐次近接露光方法 | 2013年 9月 9日 | |
| 特開 2013-174727 | 露光装置 | 2013年 9月 5日 | |
| 再表 2011-158760 | 露光装置 | 2013年 8月19日 | |
| 再表 2011-138938 | 支持装置及び露光装置 | 2013年 7月22日 | |
| 再表 2011-105461 | 露光装置用光照射装置、露光装置、露光方法、基板の製造方法、マスク、及び被露光基板 | 2013年 6月20日 | |
| 再表 2011-96365 | 露光装置用光照射装置及びその点灯制御方法、並びに露光装置、露光方法及び基板 | 2013年 6月10日 | |
| 特開 2013-97310 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2013年 5月20日 | |
| 特開 2013-70042 | 密着露光装置及び密着露光方法 | 2013年 4月18日 | |
| 再表 2011-65386 | 露光ユニット及び基板の露光方法 | 2013年 4月18日 | |
| 再表 2011-65380 | プリアライメント装置及びプリアライメント方法 | 2013年 4月18日 | |
| 再表 2011-55826 | マスク保持機構 | 2013年 3月28日 |
25 件中 1-15 件を表示
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2013-231962 2013-229536 2013-205836 2013-205613 2013-179223 2013-174727 2011-158760 2011-138938 2011-105461 2011-96365 2013-97310 2013-70042 2011-65386 2011-65380 2011-55826
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