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NSKテクノロジー株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第1169位 25件 下降2012年:第795位 38件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第2264位 9件 下降2012年:第991位 29件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-231962 露光装置及び露光方法 2013年11月14日
特開 2013-229536 露光装置及び露光方法 2013年11月 7日
特開 2013-205836 露光装置 2013年10月 7日
特開 2013-205613 近接露光装置 2013年10月 7日
特開 2013-179223 分割逐次近接露光装置及び分割逐次近接露光方法 2013年 9月 9日
特開 2013-174727 露光装置 2013年 9月 5日
再表 2011-158760 露光装置 2013年 8月19日
再表 2011-138938 支持装置及び露光装置 2013年 7月22日
再表 2011-105461 露光装置用光照射装置、露光装置、露光方法、基板の製造方法、マスク、及び被露光基板 2013年 6月20日
再表 2011-96365 露光装置用光照射装置及びその点灯制御方法、並びに露光装置、露光方法及び基板 2013年 6月10日
特開 2013-97310 近接露光装置及び近接露光方法 2013年 5月20日
特開 2013-70042 密着露光装置及び密着露光方法 2013年 4月18日
再表 2011-65386 露光ユニット及び基板の露光方法 2013年 4月18日
再表 2011-65380 プリアライメント装置及びプリアライメント方法 2013年 4月18日
再表 2011-55826 マスク保持機構 2013年 3月28日

25 件中 1-15 件を表示

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2013-231962 2013-229536 2013-205836 2013-205613 2013-179223 2013-174727 2011-158760 2011-138938 2011-105461 2011-96365 2013-97310 2013-70042 2011-65386 2011-65380 2011-55826

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