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NSKテクノロジー株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第795位 38件 上昇2011年:第12004位 1件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第991位 29件 上昇2011年:第24706位 0件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-252212 露光装置及び露光方法 2012年12月20日
特開 2012-247641 転動装置及びそれを備えた近接スキャン露光装置 2012年12月13日
特開 2012-247482 プリアライメント装置及びプリアライメント方法 2012年12月13日
特開 2012-246996 案内装置 2012年12月13日
特開 2012-237860 近接露光装置及び近接露光方法 2012年12月 6日
特開 2012-237817 露光装置及び露光方法 2012年12月 6日
特開 2012-230210 露光装置 2012年11月22日
特開 2012-226210 近接スキャン露光装置及びその制御方法 2012年11月15日
特開 2012-220722 露光装置 2012年11月12日
特開 2012-208412 露光装置 2012年10月25日
特開 2012-194420 フラットパネルディスプレイ用露光ユニット及びそれを用いたフラットパネルディスプレイ用露光方法 2012年10月11日
特開 2012-189800 近接露光装置 2012年10月 4日
特開 2012-177795 露光装置用ランプ 2012年 9月13日
特開 2012-177799 露光装置用光照射装置 2012年 9月13日
特開 2012-178423 露光ユニット及び基板のプリアライメント方法 2012年 9月13日

38 件中 1-15 件を表示

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2012-252212 2012-247641 2012-247482 2012-246996 2012-237860 2012-237817 2012-230210 2012-226210 2012-220722 2012-208412 2012-194420 2012-189800 2012-177795 2012-177799 2012-178423

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