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ＮＳＫテクノロジー株式会社
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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1169位 25件
（
2012年：第795位 38件）
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第2264位 9件
（2012年：第991位 29件）
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ＮＳＫテクノロジー株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5311341 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2013年10月 9日 | |
| 特許 5288104 | スキャン露光装置およびスキャン露光方法 | 2013年 9月11日 | |
| 特許 5279207 | 露光装置用基板搬送機構 | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5254073 | スキャン露光装置およびスキャン露光装置の基板搬送方法 | 2013年 8月 7日 | |
| 特許 5214818 | ワークチャック、ワーク保持方法及び露光装置 | 2013年 6月19日 | |
| 特許 5184808 | 露光方法及び露光装置 | 2013年 4月17日 | |
| 特許 5166681 | ステップ式近接露光装置 | 2013年 3月21日 | |
| 特許 5164069 | スキャン露光装置およびスキャン露光方法 | 2013年 3月13日 | |
| 特許 5150949 | 近接スキャン露光装置及びその制御方法 | 2013年 2月27日 |
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5311341 5288104 5279207 5254073 5214818 5184808 5166681 5164069 5150949
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