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NSKテクノロジー株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第1169位 25件 下降2012年:第795位 38件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第2264位 9件 下降2012年:第991位 29件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5311341 近接露光装置及び近接露光方法 2013年10月 9日
特許 5288104 スキャン露光装置およびスキャン露光方法 2013年 9月11日
特許 5279207 露光装置用基板搬送機構 2013年 9月 4日
特許 5254073 スキャン露光装置およびスキャン露光装置の基板搬送方法 2013年 8月 7日
特許 5214818 ワークチャック、ワーク保持方法及び露光装置 2013年 6月19日
特許 5184808 露光方法及び露光装置 2013年 4月17日
特許 5166681 ステップ式近接露光装置 2013年 3月21日
特許 5164069 スキャン露光装置およびスキャン露光方法 2013年 3月13日
特許 5150949 近接スキャン露光装置及びその制御方法 2013年 2月27日

9 件中 1-9 件を表示

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5311341 5288104 5279207 5254073 5214818 5184808 5166681 5164069 5150949

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