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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第3076位 6件
(
2014年:第3484位 5件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2434位 6件
(
2014年:第1883位 12件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2015-172774 | プリアライメント装置及びプリアライメント方法 | 2015年10月 1日 | |
| 特開 2015-172775 | 露光装置用光照射装置及びその点灯制御方法 | 2015年10月 1日 | |
| 特開 2015-146417 | 露光装置、露光方法及びミラー曲げ機構付き反射鏡 | 2015年 8月13日 | |
| 特開 2015-38981 | 密着露光装置 | 2015年 2月26日 | |
| 特開 2015-38982 | 基板の保持装置及び密着露光装置並びに近接露光装置 | 2015年 2月26日 | |
| 特開 2015-26644 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2015年 2月 5日 |
6 件中 1-6 件を表示
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2015-172774 2015-172775 2015-146417 2015-38981 2015-38982 2015-26644
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