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NSKテクノロジー株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第3484位 5件 下降2013年:第1169位 25件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第1883位 12件 上昇2013年:第2264位 9件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5645126 露光装置及び露光方法 2014年12月24日
特許 5598789 露光装置用光照射装置及び露光装置 2014年10月 1日
特許 5577730 近接露光装置及び近接露光方法 2014年 8月27日
特許 5574291 露光装置 2014年 8月20日
特許 5517171 露光ユニット及び基板の露光方法 2014年 6月11日
特許 5499398 露光装置及び露光方法 2014年 5月21日
特許 5499399 露光装置及び露光方法 2014年 5月21日
特許 5470321 露光装置の露光方法 2014年 4月16日
特許 5470322 露光装置 2014年 4月16日
特許 5464991 近接露光装置及び近接露光方法 2014年 4月 9日
特許 5465024 露光装置及び露光方法 2014年 4月 9日
特許 5462028 露光装置、露光方法及び基板の製造方法 2014年 4月 2日

12 件中 1-12 件を表示

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5645126 5598789 5577730 5574291 5517171 5499398 5499399 5470321 5470322 5464991 5465024 5462028

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