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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第3484位 5件
(
2013年:第1169位 25件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第1883位 12件
(
2013年:第2264位 9件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5645126 | 露光装置及び露光方法 | 2014年12月24日 | |
| 特許 5598789 | 露光装置用光照射装置及び露光装置 | 2014年10月 1日 | |
| 特許 5577730 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2014年 8月27日 | |
| 特許 5574291 | 露光装置 | 2014年 8月20日 | |
| 特許 5517171 | 露光ユニット及び基板の露光方法 | 2014年 6月11日 | |
| 特許 5499398 | 露光装置及び露光方法 | 2014年 5月21日 | |
| 特許 5499399 | 露光装置及び露光方法 | 2014年 5月21日 | |
| 特許 5470321 | 露光装置の露光方法 | 2014年 4月16日 | |
| 特許 5470322 | 露光装置 | 2014年 4月16日 | |
| 特許 5464991 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2014年 4月 9日 | |
| 特許 5465024 | 露光装置及び露光方法 | 2014年 4月 9日 | |
| 特許 5462028 | 露光装置、露光方法及び基板の製造方法 | 2014年 4月 2日 |
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5645126 5598789 5577730 5574291 5517171 5499398 5499399 5470321 5470322 5464991 5465024 5462028
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