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NSKテクノロジー株式会社

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  2012年 特許取得件数ランキング    第991位 29件 上昇2011年:第24706位 0件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5099318 露光装置及び露光方法 2012年12月19日
特許 5105155 露光装置及び露光方法 2012年12月19日
特許 5105167 近接露光装置及び近接露光装置用マスクアダプタ 2012年12月19日
特許 5102451 露光装置 2012年12月19日
特許 5105152 近接スキャン露光装置及びその制御方法 2012年12月19日
特許 5089257 近接スキャン露光装置 2012年12月 5日
特許 5089255 露光装置 2012年12月 5日
特許 5089258 近接スキャン露光装置及びその露光方法 2012年12月 5日
特許 5089238 露光装置用基板アダプタ及び露光装置 2012年12月 5日
特許 5084230 近接露光装置および近接露光方法 2012年11月28日
特許 5084356 露光装置用基板搬送機構及びそれを用いた基板位置調整方法 2012年11月28日
特許 5077655 近接スキャン露光装置及びエアパッド 2012年11月21日
特許 5068107 露光装置用基板搬送機構及びその制御方法 2012年11月 7日
特許 5057382 露光装置及び基板の製造方法 2012年10月24日
特許 5057370 近接スキャン露光装置及びその照度制御方法 2012年10月24日

29 件中 1-15 件を表示

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5099318 5105155 5105167 5102451 5105152 5089257 5089255 5089258 5089238 5084230 5084356 5077655 5068107 5057382 5057370

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