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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第3076位 6件
(2014年:第3484位 5件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2434位 6件
(2014年:第1883位 12件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5702122 | 露光装置用光照射装置 | 2015年 4月15日 | |
特許 5702373 | 支持装置及び露光装置 | 2015年 4月15日 | |
特許 5674195 | 露光装置及び露光方法 | 2015年 2月25日 | |
特許 5674197 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2015年 2月25日 | |
特許 5652870 | 異物検出装置及び異物検出方法 | 2015年 1月14日 | |
特許 5648242 | 露光システム及びその制御方法 | 2015年 1月 7日 |
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5702122 5702373 5674195 5674197 5652870 5648242
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