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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第2423位 8件
(
2018年:第3363位 5件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第2665位 5件
(
2018年:第3217位 4件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6605044 | 半導体ウエハの洗浄方法および洗浄装置 | 2019年11月13日 | |
| 特許 6591555 | 落下防止機能を有する半導体デバイス洗浄装置、および、その装置を備えるチャンバ | 2019年10月16日 | |
| 特許 6592529 | 基板のベベルおよび裏面を保護するための装置 | 2019年10月16日 | |
| 特許 6574486 | 金属層形成方法 | 2019年 9月11日 | |
| 特許 6490202 | 半導体ウェハ洗浄装置及び半導体ウェハ洗浄方法 | 2019年 3月27日 |
5 件中 1-5 件を表示
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6605044 6591555 6592529 6574486 6490202
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