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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6770757 | 半導体ウエハの洗浄方法及び洗浄装置 | 2020年10月21日 | |
特許 6758587 | 基板支持装置 | 2020年 9月23日 | |
特許 6697089 | 基板熱処理装置 | 2020年 5月20日 | |
特許 6670940 | 高温化学薬品及び超音波装置を用いた基板の洗浄方法及び装置 | 2020年 3月25日 | |
特許 6633756 | 基板把持装置 | 2020年 1月22日 |
5 件中 1-5 件を表示
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6770757 6758587 6697089 6670940 6633756
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