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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第4465位 4件
(2016年:第5242位 3件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第2490位 6件
(2016年:第24808位 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6232086 | 機能水製造装置及び機能水製造方法 | 2017年11月15日 | |
特許 6198840 | 基板支持装置 | 2017年 9月20日 | |
特許 6186499 | ウェハのメッキおよび/または研磨のための装置および方法 | 2017年 8月23日 | |
特許 6162881 | 基板を均一に金属被覆する方法および装置 | 2017年 7月12日 | |
特許 6154860 | 洗浄用水素水の製造方法及び製造装置 | 2017年 6月28日 | |
特許 6113154 | 基板上に均一な金属膜を形成するための方法及び装置 | 2017年 4月12日 | |
特許 6076458 | 半導体ウェハ上のメタル層をストレスフリー研磨するためのノズル | 2017年 2月 8日 | |
特許 6063944 | フリップチップアセンブリの洗浄方法及び装置 | 2017年 1月18日 |
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6232086 6198840 6186499 6162881 6154860 6113154 6076458 6063944
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