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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第8370位 2件
(
2021年:第3677位 5件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第2778位 6件
(
2021年:第4240位 3件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7187581 | 非プラズマエッチング方法 | 2022年12月12日 | |
| 特許 7179972 | チャンバ吸気構造及び反応チャンバ | 2022年11月29日 | |
| 特許 7144547 | 非接触式基板操作機器及びエピタキシャルリアクタ | 2022年 9月29日 | |
| 特許 7134267 | 基板を操作するための機器 | 2022年 9月 9日 | |
| 特許 7126027 | チャンバーシールアセンブリ及び成長炉 | 2022年 8月25日 | |
| 特許 7062132 | チャンバー冷却装置及び半導体加工設備 | 2022年 5月 2日 |
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7187581 7179972 7144547 7134267 7126027 7062132
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