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ケーエルエー−テンカーコーポレイション

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ケーエルエー−テンカーコーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5108193	改良された試験構造の検査方法	2012年12月26日
特許 5102329	回折構造体、広帯域、偏光、エリプソメトリおよび下地構造の測定	2012年12月19日
特許 5102035	半導体製造のための柔軟でハイブリッドな欠陥分類	2012年12月19日
特許 5075904	回路設計図、検査方法、および処理方法	2012年11月21日
特許 5066318	化学機械研磨中にキラー粒子を検出するための装置および方法	2012年11月 7日
特許 5066366	照射装置および方法	2012年11月 7日
特許 5060684	半導体ウェーハを検査するシステム及び方法	2012年10月31日
特許 5048377	光散乱検査システムの構成を決定するためのコンピュータに実装された方法およびシステム	2012年10月17日
特許 5043426	処理条件検知ウェハおよびデータ分析システム	2012年10月10日
特許 5038570	顕微検査のための改良レンズ	2012年10月 3日
特許 5032114	パターン化ウェハまたは非パターン化ウェハおよびその他の検体の検査システム	2012年 9月26日
特許 5019712	統合化されたプロセス条件検知用ウェハおよびデータ解析システム	2012年 9月 5日
特許 5015596	プラズマプロセスシステムおよび該システムにおけるプラズマ境界特性測定方法	2012年 8月29日
特許 5014337	対称および反対称スキャトロメトリ信号を用いたオーバレイおよびプロファイル非対称性の測定	2012年 8月29日
特許 5013656	欠陥位置特定の方法および装置	2012年 8月29日

43 件中 1-15 件を表示

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5108193 5102329 5102035 5075904 5066318 5066366 5060684 5048377 5043426 5038570 5032114 5019712 5015596 5014337 5013656

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