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ケーエルエー−テンカーコーポレイション

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ケーエルエー−テンカーコーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 5645410	瞳孔フィルターを用いたリソグラフィー画像再構成によるフォトマスクの検査方法及び装置	2014年12月24日
特許 5646533	動的に駆動されるステージミラー及びチャック組立体を有するＺステージを備えた基材支持装置	2014年12月24日
特許 5627610	基板の形状または厚さの情報を測定するための方法および装置	2014年11月19日
特許 5628656	デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム	2014年11月19日
特許 5619779	高温プラズマを持続させるための光ポンピング	2014年11月 5日
特許 5619776	ウエハの検査のための１つまたは複数のパラメータの選択方法	2014年11月 5日
特許 5616627	ターゲットおよびサンプルの層の間のオーバレイ誤差を決定するための方法	2014年10月29日
特許 5602771	欠陥分類における設計情報及び欠陥画像情報の使用	2014年10月 8日
特許 5587934	散乱計測定の改良システムおよび応用	2014年 9月10日
特許 5570530	ウェハー上の欠陥検出	2014年 8月13日
特許 5567527	レティクルの設計パターンにおける欠陥を検出し、かつ（あるいは）ソートするためのコンピュータに実装された方法	2014年 8月 6日
特許 5563803	回折構造体、広帯域、偏光、エリプソメトリおよび下地構造の測定	2014年 7月30日
特許 5554563	次数選択されたオーバレイ測定	2014年 7月23日
特許 5552459	光学検査中に光学収差を除去する装置および方法	2014年 7月16日
特許 5538455	不良検出システムの改良	2014年 7月 2日

27 件中 1-15 件を表示

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5645410 5646533 5627610 5628656 5619779 5619776 5616627 5602771 5587934 5570530 5567527 5563803 5554563 5552459 5538455

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