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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2011年 出願公開件数ランキング    第1563位 15件 上昇2010年:第2121位 11件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第842位 33件 上昇2010年:第1381位 15件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4838122 表面の異常および/または特徴を検出する光学システム 2011年12月14日
特許 4825423 プログラム可能な光選択アレイを有する暗視野検査システム 2011年11月30日
特許 4824929 統合利用のために改良された検査システム 2011年11月30日
特許 4817575 渦電流測定を利用して、メタライゼーション処理を実状態で監視する方法 2011年11月16日
特許 4809330 集積化されたプロセス条件検出ウエハおよびデータ解析システム 2011年11月 9日
特許 4799402 2以上の計測された散乱計測信号間の比較によるプロセス最適化および制御の方法 2011年10月26日
特許 4801903 電子ビームを用いたエッチングにおける終点検出ための方法および装置 2011年10月26日
特許 4795349 調整可能な変調伝達関数(MTF)を使用して感知するためのシステムおよび方法 2011年10月19日
特許 4789798 散乱計測を用いてオーバレイ誤差を検出する装置および方法 2011年10月12日
特許 4789438 連続多波長表面スキャンを用いて表面レイヤ厚さを決定する方法および装置 2011年10月12日
特許 4774193 検査システムセットアップ技術 2011年 9月14日
特許 4769471 試料を照射する装置および試料を検査する方法 2011年 9月 7日
特許 4761684 ブロードバンド紫外線カタディオプトリックイメージングシステム 2011年 8月31日
特許 4759146 二重ビームを備えた二次電子放射顕微鏡のための装置および方法 2011年 8月31日
特許 4758427 シミュレーション・プログラムのための入力生成、あるいは、レチクルのシミュレート画像生成のためのコンピュータに実装された方法 2011年 8月31日

33 件中 1-15 件を表示

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4838122 4825423 4824929 4817575 4809330 4799402 4801903 4795349 4789798 4789438 4774193 4769471 4761684 4759146 4758427

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