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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第795位 38件 (2011年:第12004位 1件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2012-252212 | 露光装置及び露光方法 | 2012年12月20日 | |
特開 2012-247641 | 転動装置及びそれを備えた近接スキャン露光装置 | 2012年12月13日 | |
特開 2012-247482 | プリアライメント装置及びプリアライメント方法 | 2012年12月13日 | |
特開 2012-246996 | 案内装置 | 2012年12月13日 | |
特開 2012-237860 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2012年12月 6日 | |
特開 2012-237817 | 露光装置及び露光方法 | 2012年12月 6日 | |
特開 2012-230210 | 露光装置 | 2012年11月22日 | |
特開 2012-226210 | 近接スキャン露光装置及びその制御方法 | 2012年11月15日 | |
特開 2012-220722 | 露光装置 | 2012年11月12日 | |
特開 2012-208412 | 露光装置 | 2012年10月25日 | |
特開 2012-194420 | フラットパネルディスプレイ用露光ユニット及びそれを用いたフラットパネルディスプレイ用露光方法 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-189800 | 近接露光装置 | 2012年10月 4日 | |
特開 2012-177795 | 露光装置用ランプ | 2012年 9月13日 | |
特開 2012-177799 | 露光装置用光照射装置 | 2012年 9月13日 | |
特開 2012-178423 | 露光ユニット及び基板のプリアライメント方法 | 2012年 9月13日 |
38 件中 1-15 件を表示
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2012-252212 2012-247641 2012-247482 2012-246996 2012-237860 2012-237817 2012-230210 2012-226210 2012-220722 2012-208412 2012-194420 2012-189800 2012-177795 2012-177799 2012-178423
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