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NSKテクノロジー株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第795位 38件 上昇2011年:第12004位 1件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第991位 29件 上昇2011年:第24706位 0件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-173512 近接露光装置及びその近接露光方法 2012年 9月10日
特開 2012-173337 マスク、近接スキャン露光装置及び近接スキャン露光方法 2012年 9月10日
特開 2012-155239 近接スキャン露光装置及びその露光方法 2012年 8月16日
特開 2012-155086 露光装置及び露光方法 2012年 8月16日
特開 2012-133255 露光装置 2012年 7月12日
特開 2012-133122 近接露光装置及びそのギャップ測定方法 2012年 7月12日
特開 2012-118544 露光装置及びその制御方法 2012年 6月21日
特開 2012-118159 近接露光装置及び異物検出方法並びに基板の製造方法 2012年 6月21日
特開 2012-114390 露光装置用光照射装置 2012年 6月14日
特開 2012-113270 露光装置用光照射装置 2012年 6月14日
特開 2012-113269 露光装置用光照射装置 2012年 6月14日
特開 2012-112921 異物検出装置及び異物検出方法 2012年 6月14日
特開 2012-113268 露光装置用光照射装置及び露光装置 2012年 6月14日
特開 2012-93616 近接スキャン露光装置及びその制御方法 2012年 5月17日
特開 2012-73453 露光装置 2012年 4月12日

38 件中 16-30 件を表示

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2012-173512 2012-173337 2012-155239 2012-155086 2012-133255 2012-133122 2012-118544 2012-118159 2012-114390 2012-113270 2012-113269 2012-112921 2012-113268 2012-93616 2012-73453

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