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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1169位 25件
(2012年:第795位 38件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第2264位 9件
(2012年:第991位 29件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-54343 | 近接露光装置及び近接露光方法 | 2013年 3月21日 | |
特開 2013-44798 | 近接露光装置 | 2013年 3月 4日 | |
特開 2013-33261 | ワークチャック、ワーク保持方法及び露光装置 | 2013年 2月14日 | |
特開 2013-15821 | 露光装置 | 2013年 1月24日 | |
特開 2013-11724 | 露光装置、及びその露光方法、並びに露光ユニット | 2013年 1月17日 | |
特開 2013-12718 | 近接露光装置 | 2013年 1月17日 | |
特開 2013-7775 | 露光装置、及びその露光方法、並びに露光ユニット | 2013年 1月10日 | |
特開 2013-8913 | 搬送装置 | 2013年 1月10日 | |
特開 2013-3157 | 露光ユニット及びそれを用いた露光方法 | 2013年 1月 7日 | |
特開 2013-3158 | 露光装置及び露光方法 | 2013年 1月 7日 |
25 件中 16-25 件を表示
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2013-54343 2013-44798 2013-33261 2013-15821 2013-11724 2013-12718 2013-7775 2013-8913 2013-3157 2013-3158
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