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ケーエルエー−テンカーコーポレイション

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ケーエルエー−テンカーコーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特許 4758343	デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム	2011年 8月24日
特許 4758358	レチクル設計データにおける欠陥を検出するためのコンピュータに実装される方法	2011年 8月24日
特許 4748936	フォーカスマスキング構造、フォーカスパターンおよびその測定	2011年 8月17日
特許 4746987	散乱計測を用いてオーバレイ誤差を検出する装置および方法	2011年 8月10日
特許 4739527	レチクルを製造および検査するためのメカニズム	2011年 8月 3日
特許 4734261	連続変化するオフセットマークと、オーバレイ決定方法	2011年 7月27日
特許 4726370	走査電子顕微鏡の較正	2011年 7月20日
特許 4722038	単一ツール欠陥分類ソリューション	2011年 7月13日
特許 4719933	処理状況検知ウェハおよびデータ解析システム	2011年 7月 6日
特許 4691499	対象となる信号およびノイズ間のロバストな分離を可能にする装置および方法	2011年 6月 1日
特許 4677231	向上された自動プロセス制御のためのオーバレイ診断の利用	2011年 4月27日
特許 4647998	重ね合わせ誤差検出方法および装置	2011年 3月 9日
特許 4643737	回折構造体、広帯域、偏光、エリプソメトリおよび下地構造の測定	2011年 3月 2日
特許 4637114	レチクル・レイアウト・データをシミュレートし、レチクル・レイアウト・データを検査し、レチクル・レイアウト・データの検査プロセスを生成する方法	2011年 2月23日
特許 4638989	並列処理でのレチクル検査のための方法および装置	2011年 2月23日

33 件中 16-30 件を表示

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4758343 4758358 4748936 4746987 4739527 4734261 4726370 4722038 4719933 4691499 4677231 4647998 4643737 4637114 4638989

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