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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第1882位 13件
(2016年:第5242位 3件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第3281位 4件
(2016年:第1730位 11件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2017-539062 | ビーム減速を伴うイオン注入器におけるビーム角度調整のためのシステムおよび方法 | 2017年12月28日 | |
特表 2017-539063 | ハイブリッド走査型イオンビーム注入器の生産性を向上させるためのシステムおよび方法 | 2017年12月28日 | |
特開 2017-224608 | 高処理能力の加熱イオン注入システムおよび方法 | 2017年12月21日 | |
特表 2017-535937 | ワークピースを静電クランプするためのシステムおよび方法 | 2017年11月30日 | |
特表 2017-527953 | 高処理能力の加熱イオン注入システムおよび方法 | 2017年 9月21日 | |
特表 2017-523562 | 織目加工された内面を有するイオン注入源 | 2017年 8月17日 | |
特表 2017-515272 | 角度エネルギフィルタを用いた角度スキャン | 2017年 6月 8日 | |
特表 2017-510023 | 可変エネルギー制御を伴うイオン注入システムおよび方法 | 2017年 4月 6日 | |
特表 2017-510025 | 走査されたビームイオン注入におけるビームの利用を向上させるための方法 | 2017年 4月 6日 | |
特表 2017-506825 | 一定質量流量多層冷却液経路静電チャック | 2017年 3月 9日 | |
特表 2017-506827 | 多用途の静電クランプの動作のための様々な電極パターン | 2017年 3月 9日 | |
特表 2017-506828 | 広温度範囲チャックに対する複数流体冷却システム | 2017年 3月 9日 | |
特表 2017-500709 | イオン注入システムのための、金属汚染が微量に低減されたイオン源 | 2017年 1月 5日 |
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2017-539062 2017-539063 2017-224608 2017-535937 2017-527953 2017-523562 2017-515272 2017-510023 2017-510025 2017-506825 2017-506827 2017-506828 2017-500709
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