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アクセリス　テクノロジーズ，　インコーポレイテッド

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アクセリス　テクノロジーズ，　インコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2022-545059	ＲＦベース注入器におけるエネルギーおよびビーム電流を向上させる方法	2022年10月25日
特開 2022-137154	炭素注入用のホスフィン複合ガス	2022年 9月21日
特表 2022-539757	有害ガス制御の後処理	2022年 9月13日
特表 2022-534997	分子状炭素の注入のためのイオン源の寿命を延長させるためのシステムおよび方法	2022年 8月 4日
特表 2022-534379	イオン注入システムのための改良された荷電ストリッピング	2022年 7月29日
特表 2022-531137	高出力ウェハー冷却	2022年 7月 6日
特表 2022-529606	複数のアークチャンバを備えるイオン源	2022年 6月23日
特表 2022-525891	液体金属イオン源	2022年 5月20日
特表 2022-520363	リアルタイムドーズ制御のために光学素子の屈曲部におけるビーム電流の推測のための上流電流測定値および下流電流測定値をミックスする方法	2022年 3月30日
特表 2022-518122	半導体処理装置のための加熱チャンバーハウジングを介したチャンバ壁上での凝縮ガスの低減	2022年 3月14日
特表 2022-517532	半導体処理装置のためのパージガス希釈および排気を介したチャンバ壁上での凝縮ガスの低減	2022年 3月 9日
特表 2022-515025	イオン源のためのテトロード引出装置	2022年 2月17日
特表 2022-515028	サーモカップル埋込エンドエフェクタを用いた半導体処理装置のためのウェハソーク温度のリードバックおよび制御	2022年 2月17日
特表 2022-512302	ハイスループット走査ビームイオン注入装置のための走査磁石および補正磁石の設計	2022年 2月 3日
特表 2022-510966	テーラード引出し開口を有するイオン源	2022年 1月28日

16 件中 1-15 件を表示

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2022-545059 2022-137154 2022-539757 2022-534997 2022-534379 2022-531137 2022-529606 2022-525891 2022-520363 2022-518122 2022-517532 2022-515025 2022-515028 2022-512302 2022-510966

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