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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第1925位 11件 (2017年:第1882位 13件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第3972位 3件 (2017年:第3281位 4件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2018-536256 | イオン注入システム用の、リップを有するイオン源ライナー | 2018年12月 6日 | |
特表 2018-533184 | イオン注入システム用の低導電性自己遮蔽絶縁体 | 2018年11月 8日 | |
特表 2018-529181 | 高スループットな冷却されたイオン注入システムおよび方法 | 2018年10月 4日 | |
特表 2018-529187 | カム作動のフィラメントクランプ | 2018年10月 4日 | |
特表 2018-512697 | 両極性のウェハ電荷監視システムおよびそれを備えたイオン注入システム | 2018年 5月17日 | |
特表 2018-510471 | イオン源用の統合型引き出し電極マニピュレーター | 2018年 4月12日 | |
特表 2018-507506 | イオン注入用の複合静電レンズシステム | 2018年 3月15日 | |
特表 2018-506134 | 複合型の多極磁石および双極子走査磁石 | 2018年 3月 1日 | |
特表 2018-506135 | 走査ビーム注入器のためのビームプロファイリング速度の向上 | 2018年 3月 1日 | |
特表 2018-506136 | 垂直ビーム角度デバイスを有するイオン注入システムにおける垂直ビームプロファイルの測定方法 | 2018年 3月 1日 | |
特表 2018-503070 | 振動特性または音響特性の解析に基づくウェハのクランプ検出 | 2018年 2月 1日 |
11 件中 1-11 件を表示
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2018-536256 2018-533184 2018-529181 2018-529187 2018-512697 2018-510471 2018-507506 2018-506134 2018-506135 2018-506136 2018-503070
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