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アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド

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  2020年 出願公開件数ランキング    第2114位 10件 下降2019年:第1815位 13件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第1368位 13件 上昇2019年:第1904位 8件)

(ランキング更新日:2024年11月22日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2020-537285 AEF領域におけるインサイチュでのビームラインフィルムの安定化または除去のためのシステムおよび方法 2020年12月17日
特表 2020-534639 イオンビーム加速のためのRF共振器 2020年11月26日
特表 2020-534643 ビームパワー入力に対する制御を伴うウェハー温度制御 2020年11月26日
特表 2020-525973 ドリフトおよび減速モードにおけるビーム角度制御を有するイオン注入システム 2020年 8月27日
特表 2020-522838 イオン原料物質としてヨウ化アルミニウムを使用する場合の水素共ガス 2020年 7月30日
特表 2020-514973 イオン注入システムのためのワークピースの能動的な加熱または冷却 2020年 5月21日
特表 2020-505718 放射加熱プレソーク 2020年 2月20日
特開 2020-24931 イオン注入システムにおける抽出電極アセンブリの電圧変調 2020年 2月13日
特表 2020-501009 炭素注入用の三フッ化リン複合ガス 2020年 1月16日
特表 2020-501346 炭素注入用のホスフィン複合ガス 2020年 1月16日

10 件中 1-10 件を表示

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2020-537285 2020-534639 2020-534643 2020-525973 2020-522838 2020-514973 2020-505718 2020-24931 2020-501009 2020-501346

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