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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第2020位 10件
(
2019年:第1714位 13件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第1368位 13件
(
2019年:第1903位 8件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2020-537285 | AEF領域におけるインサイチュでのビームラインフィルムの安定化または除去のためのシステムおよび方法 | 2020年12月17日 | |
| 特表 2020-534639 | イオンビーム加速のためのRF共振器 | 2020年11月26日 | |
| 特表 2020-534643 | ビームパワー入力に対する制御を伴うウェハー温度制御 | 2020年11月26日 | |
| 特表 2020-525973 | ドリフトおよび減速モードにおけるビーム角度制御を有するイオン注入システム | 2020年 8月27日 | |
| 特表 2020-522838 | イオン原料物質としてヨウ化アルミニウムを使用する場合の水素共ガス | 2020年 7月30日 | |
| 特表 2020-514973 | イオン注入システムのためのワークピースの能動的な加熱または冷却 | 2020年 5月21日 | |
| 特表 2020-505718 | 放射加熱プレソーク | 2020年 2月20日 | |
| 特開 2020-24931 | イオン注入システムにおける抽出電極アセンブリの電圧変調 | 2020年 2月13日 | |
| 特表 2020-501009 | 炭素注入用の三フッ化リン複合ガス | 2020年 1月16日 | |
| 特表 2020-501346 | 炭素注入用のホスフィン複合ガス | 2020年 1月16日 |
10 件中 1-10 件を表示
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2020-537285 2020-534639 2020-534643 2020-525973 2020-522838 2020-514973 2020-505718 2020-24931 2020-501009 2020-501346
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