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アクセリス　テクノロジーズ，　インコーポレイテッド

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　■　2019年出願公開件数ランキング　　　第1815位　13件（2018年：第1925位　11件）

　■　2019年特許取得件数ランキング　　　第1904位　8件（2018年：第3972位　3件）

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アクセリス　テクノロジーズ，　インコーポレイテッドの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2019-537191	多径ウエハの真空内ウエハハンドリング	2019年12月19日
特表 2019-537243	調整可能な周辺静電クランプ	2019年12月19日
特表 2019-536226	高速作動するシャッター動作を伴う２軸可変幅質量分解開口	2019年12月12日
特表 2019-535099	イオン源内における炭素の堆積を最小限にするために、一次ドーパント又はパージガスへの補助ガスとして過酸化水素を使用するインサイチュクリーニング	2019年12月 5日
特表 2019-535132	一体化された放射率センサの位置合わせ特性決定	2019年12月 5日
特表 2019-532461	走査イオン注入システムにおけるインサイチュでのイオンビーム電流の監視および制御	2019年11月 7日
特表 2019-525381	アルミニウム原子イオンを生成するための固体ヨウ化アルミニウム（ＡＬＩ３）を用いた注入およびヨウ化アルミニウムとそれに関連付けられた副産物のインサイチュクリーニング	2019年 9月 5日
特表 2019-525382	アルミニウム原子イオンを生成するための固体ヨウ化アルミニウム（ＡＬＩ３）を用いた注入およびヨウ化アルミニウムとそれに関連付けられた副産物のインサイチュクリーニング	2019年 9月 5日
特表 2019-522870	ウェハ冷却方法	2019年 8月15日
特表 2019-516213	改善されたイオン源のリペラシールド	2019年 6月13日
特表 2019-515449	ランタン入りタングステンイオン源およびビームラインコンポーネント	2019年 6月 6日
特表 2019-505960	改善されたイオン源のカソードシールド	2019年 2月28日
特表 2019-502239	マルチピース電極開口	2019年 1月24日

13 件中 1-13 件を表示

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2019-537191 2019-537243 2019-536226 2019-535099 2019-535132 2019-532461 2019-525381 2019-525382 2019-522870 2019-516213 2019-515449 2019-505960 2019-502239

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