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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第108位 369件
(2020年:第107位 385件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第76位 336件
(2020年:第118位 239件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6929652 | 基板処理装置および間隙洗浄方法 | 2021年 9月 1日 | |
特許 6924614 | 基板処理装置 | 2021年 8月25日 | |
特許 6924661 | 露光装置、基板処理装置、露光方法および基板処理方法 | 2021年 8月25日 | |
特許 6925145 | 基板処理装置 | 2021年 8月25日 | |
特許 6925185 | 基板処理装置 | 2021年 8月25日 | |
特許 6920133 | 処理液供給装置 | 2021年 8月18日 | |
特許 6920923 | ポンプ装置および基板処理装置 | 2021年 8月18日 | |
特許 6921150 | 追加露光装置およびパターン形成方法 | 2021年 8月18日 | |
特許 6921605 | 塗布方法 | 2021年 8月18日 | |
特許 6921725 | 判定方法および基板処理装置 | 2021年 8月18日 | |
特許 6921769 | 印刷装置および印刷方法 | 2021年 8月18日 | |
特許 6923344 | 周縁処理装置および周縁処理方法 | 2021年 8月18日 | |
特許 6923346 | 基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送装置のティーチング方法 | 2021年 8月18日 | |
特許 6923396 | 密着強化処理装置および密着強化処理方法 | 2021年 8月18日 | |
特許 6923419 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2021年 8月18日 |
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6929652 6924614 6924661 6925145 6925185 6920133 6920923 6921150 6921605 6921725 6921769 6923344 6923346 6923396 6923419
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2月26日(水) -
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3月4日(火) -
3月4日(火) -
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3月5日(水) -
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3月6日(木) - 東京 港区
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3月7日(金) - 東京 港区
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