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株式会社SCREENホールディングス

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  2021年 特許取得件数ランキング    第76位 336件 上昇2020年:第118位 239件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6929652 基板処理装置および間隙洗浄方法 2021年 9月 1日
特許 6924614 基板処理装置 2021年 8月25日
特許 6924661 露光装置、基板処理装置、露光方法および基板処理方法 2021年 8月25日
特許 6925145 基板処理装置 2021年 8月25日
特許 6925185 基板処理装置 2021年 8月25日
特許 6920133 処理液供給装置 2021年 8月18日
特許 6920923 ポンプ装置および基板処理装置 2021年 8月18日
特許 6921150 追加露光装置およびパターン形成方法 2021年 8月18日
特許 6921605 塗布方法 2021年 8月18日
特許 6921725 判定方法および基板処理装置 2021年 8月18日
特許 6921769 印刷装置および印刷方法 2021年 8月18日
特許 6923344 周縁処理装置および周縁処理方法 2021年 8月18日
特許 6923346 基板搬送装置、それを備える基板処理装置および基板搬送装置のティーチング方法 2021年 8月18日
特許 6923396 密着強化処理装置および密着強化処理方法 2021年 8月18日
特許 6923419 基板処理装置及び基板処理方法 2021年 8月18日

338 件中 106-120 件を表示

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6929652 6924614 6924661 6925145 6925185 6920133 6920923 6921150 6921605 6921725 6921769 6923344 6923346 6923396 6923419

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